大牛证券app下载 晶盛机电获得发明专利授权:“监控晶圆抛光的方法和电子设备”
2025-07-04本站消息大牛证券app下载,根据天眼查APP数据显示晶盛机电(300316)新获得一项发明专利授权,专利名为“监控晶圆抛光的方法和电子设备”,专利申请号为CN202510388158.9,授权日为2025年7月1日。 专利摘要:本申请提供一种监控晶圆抛光的方法和电子设备,涉及晶圆抛光检测领域。该方法获取晶圆处于正式抛光加工过程中、抛光设备当前时刻的压力观测值以及上一时刻的压力观测值;根据上一时刻的压力观测值预测当前时刻的第一压力预测值,并根据当前时刻的压力观测值对当前时刻的第一压力预测值进行更